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非晶氮化碳薄膜技术研究
制备了一种非晶氮化碳薄膜,并对其经行了扫描电镜、膜厚、压痕、划痕、硬度及X射线光电子能谱分析(XPS)测试。测试结果表明该薄膜结......
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氮化碳薄膜
非晶体
润滑
carbon nitride film
non-crystalline
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